丁德宏

作品数：7被引量：13H指数：2
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供职机构：辽宁大学物理系更多>>
发文主题：多孔硅压力传感器非线性硅压力传感器内补偿更多>>
发文领域：自动化与计算机技术理学电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《微电子学与计算机》《传感技术学报》《辽宁大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：沈阳市科技局资助项目辽宁省科技厅资助项目浙江省重点科技计划更多>>
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一种16位存储器版图的验证与参数提取被引量：1
《辽宁大学学报（自然科学版）》2004年第4期363-366,共4页张宏庆 张宏 范军 丁德宏 付世 沈桂芬 
随着集成电路的发展,存储器在IC(IntegratedCircuit)即"集成电路"中地位越来越突出.阐述了对一种16位存储器版图设计中的DRC(DesignRuleChecking)即"设计规则检查"和LVS(LayoutVersusSchematic)即"版图和电路比较"、以及RC寄生参数的提取.
关键词：DRC LVS 寄生参数 
多孔硅的能带变化及光致发光的研究
《微电子学与计算机》2004年第4期113-115,共3页沈桂芬 范军 张宏庆 付世 丁德宏 姚朋军 
多孔硅与硅材料相比,有明显的可见光致发光特性,其原理可用量子限制模型给予解释。文章通过对多孔硅的光致发光、光电子辐射、光电效应和X光吸收方面的实验的讨论,研究了退火对多孔硅导带和价带边缘的量子漂移的影响。对于大多数多孔硅...
关键词：多孔硅 退火 量子限制模型 
多孔硅的能带与发光机制的研究与分析
《辽宁大学学报（自然科学版）》2004年第1期20-22,共3页丁德宏 张宏 付世 姚朋军 范军 张宏庆 沈桂芬 
在光致发光技术对多孔硅光学性质研究的基础上讨论了与多孔硅的微观结构有关的多孔硅的能带结构,用能量赝势法模拟计算出多孔硅的能带间隙.
关键词：多孔硅 能带 发光机制 量子限制模型 表面态 能量赝势法 光致发光 
微机电系统的研究与分析被引量：5
《传感技术学报》2004年第1期168-171,共4页沈桂芬 张宏庆 韩宇 范军 付世 丁德宏 姚朋军 
沈阳市科技局资助项目 (10 2 2 0 37- 1- 0 6 ) ;辽宁省科技厅资助项目
详细介绍了微机械电子系统的内涵。内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域 .还介绍了微机械电子系统加工工艺 ,阐明了其涉及的科学技术问题 ,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论。
关键词：微机电系统 微型传感器 微型执行器 MEMS 
多孔硅形成机理研究的新进展
《辽宁大学学报（自然科学版）》2003年第1期93-96,共4页付世 丁德宏 姚朋军 单新华 沈桂芬 
更深入地分析了多孔硅形成的几种模型 ,对影响多孔硅形成的几个关键因素提出了新观点 ,描述了多孔硅的形成过程的一些特性 。
关键词：多孔硅 形成机理 晶向 散射 孔隙度 研究进展 半导体材料 反应剂 
硅压力传感器的非线性分析及优化设计被引量：6
《传感技术学报》2003年第1期39-43,共5页沈桂芬 付世 丁德宏 姚朋军 张宏庆 范军 吕品 
国家医药管理局科研计划基金项目;浙江省重点科研计划基金项目资助 (NO.97110 30 99)
分析了硅压力传感器的线性与非线性 ,讨论了非线性产生的原因 。
关键词：压力传感器 非线性 线性度 内补偿 
采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析被引量：1
《传感技术学报》2002年第3期251-255,共5页沈桂芬 姚朋军 丁德宏 付世 吕品 杨春常 刘宏俊 王振波 
沈阳市科委基金项目
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于 <10 0 >、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率 ,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。
关键词：TMAH 粗糙度 腐蚀速率 各向异性. 
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