LIGA相关技术及应用  

Related technologies and applications of LIGA

作　　者：张永华[1] 丁桂甫[1] 彭军[2] 蔡炳初[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030 [2]西安电子科技大学微电子研究所,陕西西安710071

出　　处：《传感器技术》2003年第3期60-64,共5页Journal of Transducer Technology

基　　金：信息产业部微电子技术项目(41308050116)

摘　　要：微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。?LIGA and quasi-LIGA technologies used for high aspect ratio 3D micromachining were accelerated by the rise and wide applications in information society of MEMS(microelectromechanical systems) technology.LIGA and related technologies are presented,and the applications of these technologies are illustrated for examples.

关 键 词：三维微细加工 LIGA技术 准LIGA技术 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]