电容式微机械静电伺服加速度计模型建立  

Setup of the Models on Micromachined Capacitive Electrostatic Servo-Accelerometer

作　　者：陈宇晓[1] 刘昌孝[2] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900 [2]电子科技大学,四川成都610054

出　　处：《探测与控制学报》2003年第1期29-33,共5页Journal of Detection & Control

基　　金：国防科技重点预研项目基金资助课题 ( 5 .3 .9)

摘　　要：阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理 ,详细分析并建立了在空间任一给定加速度 a下加速度计的静态、动态和电模拟模型 ,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度 ,由此建立各方向上的运动方程 ,并给出各参数的计算公式 ,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础。In this paper the basic structure and operation principle of Micromachined Capacitive Electrostatic Servo Accelerometer System are explicated. The static,dynamic and electrical analogue models of the accelerometer are analyzed in detail and set up under a given special acceleration. It is pointed out that the movements of the seismic mass in every direction are solely determined by the acceleration in the direction. Consequently,the movement equations in every direction are set up,and the calculational formulas of the parameters are given, thus, the firm foundation on the design and simulation of accelerometer being established.

关 键 词：微机械加速度计 经典力学模型 动态模型 电模拟模型 微机电系统 结构 工作原理 惯性敏感单元 伺服电子线路 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]