四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究  

Influence of Ion Source Parameters on Sensitivity of Quadrupole Mass Spectrometer

作　　者：冯焱[1] 李得天[1] 张涤新[1] 张建军[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所

出　　处：《真空科学与技术》2003年第3期203-207,共5页Vacuum Science and Technology

摘　　要：本文通过改变QMS4 2 2型四极质谱计离子源的发射电流、阴极电压和聚焦电压等参数值 ,测量了质谱计灵敏度的相应变化 ,给出并分析了实验结果。实验结果表明 ,对质谱计离子源参数进行调节 。Influence of various ion source parameters,such as its emission current,its cathode voltage,and its focus voltage,on the sensitivity of the quadrupole mass spectrometer(QMS),model QMS422,was experimentally studied.The results show that the QMS sensitivity can be optimized by appropriately balancing the ion source parameters.

关 键 词：四极质谱计 离子源 灵敏度 

分 类 号：TB773[一般工业技术—真空技术]