光学表面超精密加工技术  

Ultra-precision machining technology of optical surface

作　　者：张华[1] 王文[1] 庞媛媛[1] 

机构地区：[1]浙江大学现代制造工程研究所,浙江杭州310027

出　　处：《光学仪器》2003年第3期47-51,共5页Optical Instruments

摘　　要：介绍了国内外光学器件超精密加工的各种先进方法 ,重点阐述了磁流变抛光技术及其抛光机理和关键技术。The advanced ultra precision machining technology of optical material in the world is introduced.And emphasizes Magnetorheological Finishing(MRF),its mechanism and its key technology.At the same time,the future of ultra precision machining technology of optical material is given in the paper.

关 键 词：光学器件 超精密加工 磁流变抛光 离子束加工 等离子体辅助抛光 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程] TQ171.68[机械工程—仪器科学与技术]