热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统  

Close-Loop Data-Acquisition System for Thermally Excited Resonant Microbeam Pressure Sensor

作　　者：范兆岩[1] 崔大付[1] 陈德勇[1] 高晓童[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100080

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第8期866-870,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6993 60 10 )~~

摘　　要：利用正反馈闭环谐振原理 ,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法 ,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路 ,并对该电路进行了综合调试 .实验结果表明 ,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换 ,以及快速、准确采集压力数据的功能 ,采集频率范围为 30～ 10 0kHz ,频率采集精度为± 1Hz,温度采集精度为 0 0 3℃ .In order to meet the practicality of the thermally excited microbeam resonant pressure sensor,a close loop data acquisition system is developed and reported.The close loop resonance method is adopted to design the low noise driver circuit and high precision signal processing circuit.Automatic frequency adjustment and accurate data conversion are realized.The test indicates that the system can meet the requirement of resonant sensor with center frequency from 30kHz to 100kHz.

关 键 词：硅梁 数据采集系统 闭环谐振 

分 类 号：TP274.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]