高晓童

作品数：3被引量：6H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：压力传感器谐振梁多孔硅热激励微电子机械系统更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
热激励硅谐振式压力传感器的研制被引量：3
《仪表技术与传感器》2004年第4期1-2,共2页高晓童 崔大付 陈德勇 王利 王蕾 
介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术,设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性,其灵敏度达到54 89Hz/kPa,Q值大于20000,0...
关键词：谐振梁 压力传感器 多孔硅 热激励 牺牲层 研制 
热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统被引量：2
《Journal of Semiconductors》2003年第8期866-870,共5页范兆岩 崔大付 陈德勇 高晓童 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6993 60 10 )~~
利用正反馈闭环谐振原理 ,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法 ,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路 ,并对该电路进行了综合调试 .实验结果表明 ,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换 ,以及快速、准确采集压力数据...
关键词：硅梁 数据采集系统 闭环谐振 
一种半岛型结构谐振梁压力传感器被引量：1
《微纳电子技术》2003年第7期464-466,共3页陈德勇 崔大付 高晓童 范兆岩 王利 
提出了一种新型结构压力传感器 ,器件由上下两硅片键合而成 ,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ,下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行...
关键词：半岛结构 谐振梁 压力传感器 微电子机械系统 有限元模拟 结构设计 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部