范兆岩

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：压力传感器微电子机械系统谐振梁有限元模拟硅更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统被引量：2
《Journal of Semiconductors》2003年第8期866-870,共5页范兆岩 崔大付 陈德勇 高晓童 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6993 60 10 )~~
利用正反馈闭环谐振原理 ,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法 ,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路 ,并对该电路进行了综合调试 .实验结果表明 ,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换 ,以及快速、准确采集压力数据...
关键词：硅梁 数据采集系统 闭环谐振 
一种半岛型结构谐振梁压力传感器被引量：1
《微纳电子技术》2003年第7期464-466,共3页陈德勇 崔大付 高晓童 范兆岩 王利 
提出了一种新型结构压力传感器 ,器件由上下两硅片键合而成 ,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ,下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行...
关键词：半岛结构 谐振梁 压力传感器 微电子机械系统 有限元模拟 结构设计 
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