王蕾

作品数：4被引量：9H指数：2
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：压力传感器光寻址电位传感器多孔硅谐振梁微结构更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信生物学更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《微纳电子技术》《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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热激励硅谐振式压力传感器的研制被引量：3
《仪表技术与传感器》2004年第4期1-2,共2页高晓童 崔大付 陈德勇 王利 王蕾 
介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术,设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性,其灵敏度达到54 89Hz/kPa,Q值大于20000,0...
关键词：谐振梁 压力传感器 多孔硅 热激励 牺牲层 研制 
基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片的研制被引量：2
《微细加工技术》2004年第1期58-61,共4页刘长春 崔大付 赵强 王利 王蕾 
国家自然科学基金重点项目(69936010);国家自然科学基金重大项目(20299030)
介绍了一种基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片,该芯片主要由三部分组成:集成了高压电极的玻璃基底、PDMS薄膜以及刻有微流路的PDMS板。利用lift off工艺,在玻璃基底上制作了为电泳分离提供高压的Pt电极。为了提高PDMS微芯片的密封效率,同时...
关键词：MEMS技术 集成电极 电泳微芯片 DNA分离 聚二甲基硅氧烷 PDMS 微流体生物芯片 
微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制被引量：3
《微纳电子技术》2003年第7期391-394,共4页韩泾鸿 张虹 顾丽波 徐磊 陈绍凤 王利 王蕾 
详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片 ,芯片表面划分成 5× 7个敏感单元 ,其中每个敏感区表面设置 4 0× 4 0个硅尖阵列 ,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口。一个 5× 7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片背面的...
关键词：微结构 光寻址电位传感器 阵列芯片 微电子机械加工 
微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺被引量：1
《传感器技术》2002年第11期31-33,共3页者文明 崔大付 陈德勇 王利 王蕾 
在微波技术研究中 ,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ,可应用于很多场合 ,如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量、毫瓦计的校准、标准信号发生器的校准...
关键词：热偶 微波功率 微梁结构热偶微波功率传感器 MEMS工艺 芯片制作 
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