MEMS工艺

作品数：122被引量：208H指数：8
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MEMS集成爆炸箔芯片的发火性能研究
《火工品》2024年第5期71-77,共7页杨智 王一飞 黎浩学 韩书锋 王玉强 朱朋 
为了实现高速飞片输出和爆炸箔起爆器(Exploding Foil Initiator, EFI)低能发火,依据EFI工作原理,进行Cu桥箔电热仿真、PC(聚氯代对二甲苯)飞片冲击作用参数计算和SU-8加速膛结构确定。基于结构设计参数,采用微机电系统(Micro-Electro-M...
关键词：集成爆炸箔芯片 MEMS工艺 飞片实时速度 低能发火 
MEMS热导甲烷传感器设计与研究
《煤矿机电》2024年第4期10-15,共6页颜培宇 
中国煤炭科工集团有限公司重点资助项目(2021-2-GH003)。
热导气体传感器在煤矿井下检测高浓甲烷方面有着重要应用。为了解决传统热导气体传感器在功耗以及灵敏度等方面的不足,开发了一种新型MEMS热导甲烷传感器。利用MEMS工艺在硅基底上沉积Pt电阻薄膜作为敏感元件,同时深刻蚀出微型热导池。...
关键词：恒温检测方法 MEMS工艺 传热仿真 热导甲烷传感器 温度补偿 
基于MEMS工艺的微热加速度计和微热陀螺仪的制备
《微纳电子技术》2024年第7期110-119,共10页吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(62104151)。
微热加速度计和微热陀螺仪两者传感芯片结构相似,并且制备工艺完全兼容,在同一块绝缘体上硅(SOI)基板上运用同一工艺流程同时制备出了微热陀螺仪传感芯片和微热加速度计传感芯片。为了准确地创建微尺度的图案和结构,设计了四块光刻掩模...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微热加速度计 微热陀螺仪 绝缘体上硅(SOI)基板 热对流 
基于MEMS工艺的压电微泵的研究进展
《应用技术学报》2024年第1期123-132,共10页李以贵 王一 
国家自然科学基金项目(62104151)资助。
在微纳米尺度流体控制的应用中,压电微泵因其简易结构,高精密度,高力密度,快速响应与良好环境适性成为研究的热点。从致动原理与流体控制方案角度对压电微泵的研究现状进行了归纳总结,介绍了其在药物供给、细胞分离、微量化学检测等领...
关键词：压电微泵 致动原理 流体控制方案 腔室 阀 
基于体硅MEMS工艺的射频微系统冲击特性仿真研究
《电子技术应用》2024年第2期65-70,共6页冯政森 王辂 曾燕萍 杨兵 祁冬 王志辉 张睿 
中国博士后科学基金面上项目(2022M722962)。
高过载冲击试验成本高、周期长,同时失效检测手段较少,难以定位结构薄弱点。针对体硅工艺MEMS(Micro-electromechanical System)射频微系统,采用冲击响应谱与瞬态动力学方法,研究板级与试验条件下的高冲击载荷响应。仿真结果表明,该射...
关键词：体硅MEMS 射频微系统 冲击 响应谱 瞬态动力学 可靠性 
基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器被引量：1
《电子科技大学学报》2024年第1期21-28,共8页陈果 刘正波 王韬 张万里 
设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,...
关键词：电容式湿度传感器 惠斯通电桥 MEMS工艺 聚酰亚胺(PI) 压力传感器 
SCH16T-K01 6轴MEMS惯性传感器
《传感器世界》2024年第1期45-45,共1页无 
村田发布了一款新的6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01,可实现高精度机器控制和定位应用。这款传感器成为村田下一代6轴SCH16T系列的首款产品,未来该系列还将推出更多版本的产品。村田利用久经行业验证的3D MEMS工艺升级并强化了SCH16T系列...
关键词：MEMS工艺 机器控制 性能水平 系列产品 定位应用 同步功能 解决方案 
一种超宽带硅基MEMS射频收发组件
《固体电子学研究与进展》2023年第6期480-485,共6页陆宇 
基于体硅微电子机械系统(MEMS)工艺,采用系统级封装(SiP)技术,研制了一款覆盖C-Ka频段高密度集成的射频收发组件。组件集成了宽带功率放大器、宽带低噪声放大器、宽带I/Q混频器、宽带频率源等多个芯片。同层信号传输采用接地共面波导传...
关键词：体硅MEMS工艺 超宽带 系统级封装 收发组件 
基于MEMS工艺的平行激励磁通门原理及仿真设计
《磁性材料及器件》2023年第5期51-56,共6页王梦佳 李晓宇 彭根斋 张芦 张志红 俞健 尹泓卜 
四川省科技计划资助项目(2021YFG0015)。
介绍了一种平行激励MEMS磁通门的原理,并通过COMSOL多物理场仿真软件对其进行建模计及仿真分析,分别考察激励电流、被测磁场以及被测磁场频率对磁通门感应电压的影响。结果表明,感应电压二次谐波幅值随被测磁场的增高近似呈线性增大,磁...
关键词：磁通门 MEMS 平行激励 原理 仿真 
多倍频程MEMS硅基微带环行器设计被引量：1
《磁性材料及器件》2023年第5期78-82,共5页陈彦 白志刚 林亚宁 冯旭文 陈铭 张博 李光东 
作为一种基于微机电系统(MEMS)的微波磁性器件,MEMS微带环行器的核心结构是一种异质嵌套结构,即将微波铁氧体嵌入到基于晶圆级键合封装工艺的硅腔体中。相较于传统的金属薄膜微带线直接分布在铁氧体材料上的微带环行器,MEMS微带环行器...
关键词：微带环行器 多倍频程 MEMS工艺 仿真 设计 
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