压电微泵

作品数:36被引量:127H指数:7
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基于MEMS工艺的压电微泵的研究进展
《应用技术学报》2024年第1期123-132,共10页李以贵 王一 
国家自然科学基金项目(62104151)资助。
在微纳米尺度流体控制的应用中,压电微泵因其简易结构,高精密度,高力密度,快速响应与良好环境适性成为研究的热点。从致动原理与流体控制方案角度对压电微泵的研究现状进行了归纳总结,介绍了其在药物供给、细胞分离、微量化学检测等领...
关键词:压电微泵 致动原理 流体控制方案 腔室  
双层泵腔压电无阀微泵结构设计与优化被引量:1
《压电与声光》2022年第5期746-751,共6页单杰 郭利华 冉朋辉 李经民 
国家重点研发计划基金资助项目(2020YFB2009002)。
面向植入式微泵在生物医疗领域的应用需求,为了提高低电压及微型化条件下微泵的输出流量,该文设计了一种双层泵腔压电无阀植入式微泵。基于压电振子的压电耦合仿真以及微泵的电-固-液三相耦合仿真,验证了双层泵腔微泵设计的有效性,并优...
关键词:压电微泵 双层泵腔 电-固-液耦合 压电耦合 喷嘴扩散器 
压电微泵一体化自闭环微系统热管理技术研究被引量:1
《压电与声光》2021年第5期676-679,共4页余怀强 杜建宇 刘雨陇 陈星 邓立科 张磊 王玮 
近年来,以嵌入式微流体液冷散热技术为代表的主动热管理因其优异的散热性能而被广泛研究。然而,嵌入式微流体液冷散热技术常使用体积较大的外置泵、阀等构成流体回路,以致该技术难以应用于现有的射频微系统。该文提出了一种集成压电微...
关键词:热管理 微系统 压电微泵 热流密度 内嵌微通道 
附壁射流无阀压电微泵的多场耦合模拟被引量:1
《排灌机械工程学报》2021年第5期439-444,共6页何秀华 杨航 杨嵩 
国家自然科学基金资助项目(51276082)。
为了研究在多场耦合影响下的压电微泵的输出性能,提出了一种新的数值模拟方法,以附壁射流无阀压电微泵为对象进行数值计算,并通过试验验证了数值计算方法的正确性,同时对压电泵的外特性进行了研究.结果表明:随着频率的增大,压电泵的流...
关键词:无阀压电微泵 附壁射流 多场耦合 数值计算 
基于差分吸收检测技术的非分散红外CO_(2)呼吸气体传感器被引量:18
《重庆邮电大学学报(自然科学版)》2021年第1期118-125,共8页袁博 袁宇鹏 张祖伟 杨靖 黄诗田 柯淋 张开盛 罗文博 
国家重点研发计划(2017YFB0406404)。
采用非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)气体传感器实时检测呼吸气体中的CO_(2)气体浓度,进而反映人体运动机能和代谢功能等身体状态,可以满足人类日益增强的对自身健康状况进行了解的需求。利用电调制微机电系统(micro-electro-...
关键词:CO_(2) 气体传感器 压电微泵 呼吸检测 差分检测 
驱动参数对串联和并联压电微泵特性影响比较研究被引量:1
《机床与液压》2019年第17期83-92,共10页关炎芳 孙百川 田勇 
国家自然科学基金青年科学基金项目(51505128);河南省科技攻关项目(182102410061);河南省属高校专项科研基金项目(2015QNJH12)
无阀压电微泵在微流体驱动及芯片上的实验室等方面有着广泛的应用。为了比较串联、并联无阀压电微泵性能差异,采用玻璃湿法腐蚀工艺,以玻璃为基体,制造出含有串联、并联腔体结构压电微泵,并采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)对微泵进行封装,两...
关键词:微流体 微泵 驱动参数 性能比较 
基于ANSYS压电振子结构最优化模拟分析
《塑料》2019年第2期90-93,97,共5页姚武昊 许红 吴大鸣 杨晨明 
在建立压电微泵的结构理论模型的基础上,通过有限元仿真软件ANSYS对不同基材和不同几何尺寸的压电振子进行静力学分析和不同驱动电压及频率的谐响应分析,确定了构成压电振子部件的最优几何结构的尺寸关系以及最优驱动电压、频率的关系...
关键词:压电微泵 压电振子 流量模拟分析 结构最优化 微流控系统 
压电微泵的特性测试与分析被引量:1
《电子器件》2019年第1期37-40,共4页韩熠 毛明健 李廷华 陈李 吴俊 朱东来 徐溢 
新型烟草产品开发前沿技术研究及应用项目(2017XY01);中央高校基本科研项目(106112017CDJPT120002)
本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10 s)内微泵输送液体的质量大小;并对工作特性进行相关分析,总结了压电微泵的输送流量随液体黏度、...
关键词:微机电系统 微泵 流量测试 压电 黏度 有阀 
压电微泵驱动信号及流量影响因素分析
《压电与声光》2018年第5期736-741,共6页杨晨明 许红 姚武昊 吴大鸣 张亚军 代伊豪 
压电微泵的泵出流量由微泵结构、压电振子特性及驱动系统驱动信号的形式决定。在机械结构及材料特性确定的条件下,压电振子的驱动信号决定着微泵输出微流量的可靠性和稳定性。在分析压电微泵驱动基理的基础上,通过Ansys对驱动压电振子...
关键词:微通道 压电微泵 计算机模拟 脉冲驱动信号 模型简化 
基于PMMA内嵌三维流道的压电驱动微混合器被引量:1
《吉林大学学报(工学版)》2018年第5期1500-1507,共8页刘建芳 王记波 刘国君 李新波 梁实海 杨志刚 
国家自然科学基金项目(51375207);吉林省自然科学基金项目(20170101136JC)
为改善微尺度下流体的混合效果,提高微混合器的混合效率,设计制造了一种基于PMMA内嵌三维流道的压电驱动微混合器。该微混合器以双腔串联压电泵为驱动源,结合Y型多拐角螺旋式三维流道,基于PMMA封装键合工艺,在一定温度、压力条件下键合...
关键词:流体传动与控制 机械设计 压电驱动 三维流道 PMMA键合 微混合器 压电微泵 
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