电容式湿度传感器

作品数：58被引量：159H指数：6
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
相关作者：黄见秋黄庆安秦明张聪陈文浩更多>>
相关机构：东南大学电子科技大学上海交通大学江苏物联网研究发展中心更多>>
相关期刊：《中国集成电路》《电子科技文摘》《分析仪器》《国外传感技术》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划河南省科技攻关计划辽宁省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器被引量：1
《电子科技大学学报》2024年第1期21-28,共8页陈果 刘正波 王韬 张万里 
设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,...
关键词：电容式湿度传感器 惠斯通电桥 MEMS工艺 聚酰亚胺(PI) 压力传感器 
基于复合微凝胶薄膜的柔性电容式湿度传感器研究被引量：1
《传感技术学报》2023年第10期1509-1514,共6页黎陈 胡亮 聂宝清 
江苏省自然科学基金项目(BK20211308)。
近年来,柔性电子技术的快速发展使得湿度传感器广泛应用于人体健康监测、电子皮肤和非接触控制等新兴应用领域。不同于传统的刚性湿度传感器,柔性湿度传感器因具有舒适的可穿戴性、成本低和制作工艺简单等特点备受研究者的关注。然而,...
关键词：柔性 湿度传感器 电容式 微凝胶 湿度检测 
电容式湿度传感器温-湿-盐雾耦合环境损伤效应与机理研究被引量：1
《装备环境工程》2023年第7期161-167,共7页李晗 魏小琴 邓家卫 滕俊鹏 赵阳 赵方超 刘世乡 周雪鹏 刘伟 
目的研究电容式湿度传感器在温-湿-盐雾耦合环境作用下的性能退化规律和失效机理。方法将电容式湿度传感器放置在三因素循环(85℃+85%RH→40℃+0.05%NaCl中性盐雾→35℃+50%RH干燥)环境下进行加速老化试验,定期取样,分析响应时间和测量...
关键词：电容式湿度传感器 温-湿-盐雾 加速老化 环境损伤 损伤机理 
一种高灵敏度的电容式湿度传感器被引量：4
《自动化应用》2022年第8期36-37,41,共3页陈果 唐诚 王忠秀 王韬 
湿度在日常生活工作中与人们息息相关,而电容式湿度传感器更是被广泛应用在食品检测、环境监控、生物医疗及工业生产等各个领域中,但是存在诸多不足之处,例如灵敏度不高、稳定性差、器件尺寸大等问题。为了应对电容式湿度传感器的这些问...
关键词：MEMS电容式湿度传感器 Mo加热层 聚酰亚胺(PI) 半导体工艺 
高灵敏纸基无湿敏材料电容式湿度传感器被引量：6
《仪表技术与传感器》2022年第6期18-22,共5页程子豪 宋智 夏雨人 薛严冰 
辽宁省教育厅科学研究项目(JDL2019008);辽宁省自然科学基金项目(2019ZD0107)。
为了拓宽湿度传感器的应用范围,兼顾其可穿戴、低成本、高灵敏度等优点,提出了一种电容式纸基无湿敏材料湿度传感器。以叉指电极(interdigital electrode,IDE)为基本结构,利用有限元仿真软件COMSOL Multipysics仿真研究了IDE指数对传感...
关键词：电容式湿度传感器 有限元仿真 纸基底 叉指电极 无湿敏材料 湿敏特性 
基于纳米森林的电容式湿度传感器被引量：2
《微纳电子技术》2020年第6期462-467,共6页陈贵东 石梦 毛海央 熊继军 陈大鹏 
国家自然科学基金资助项目(61771467,51425505);中国科学院青年创新促进会资助项目(2018153);广东省重点领域研发计划资助项目(2019B010117001)。
提出了一种基于纳米森林的电容式湿度传感器。该湿度传感器利用等离子体技术制备的纳米森林作为湿度敏感层,湿度敏感范围为30%RH^90%RH,且在大于60%RH的湿度范围内灵敏度达到1.87 pF/%RH,同时响应和恢复时间分别约为3.2 s和6 s。当传感...
关键词：湿度传感器 纳米森林 聚酰亚胺 等离子体 非接触式传感 
电容式湿度传感器响应特性研究被引量：7
《传感器与微系统》2020年第5期27-29,共3页王冰梅 高翔 杨恒祥 禹胜林 
通过设计优化的环形上电极结构和普遍采用的栅条形上电极结构,进行理论研究和对比测试分析,并采用Looyenga及Dubinin等方程进行计算研究。为了扩大孔隙率,以提高水分子通过上电极的效率,从而缩短电容式湿度传感器的响应时间,对上电极多...
关键词：电容式湿度传感器 上电极 多孔结构优化 数值模拟 
基于电容式湿度传感器的砂土水分含量测定被引量：5
《节水灌溉》2019年第11期22-26,32,共6页田汇文 翟亚明 唐瑞 褚浩洋 缪婧娴 
国家级大学生创新创业训练计划项目(201810294118);“十三五”国家重点研发计划项目(2016YFC0400208);中央高校基本科研业务费专项资金项目(B19020180)
为了研究电容式土壤湿度传感器在砂性土壤蒸发不同阶段水分含量测定时存在测值偏差问题,采用直接称重求含水率法对比电容式土壤湿度传感器测量水分含量法,分析了初始饱和砂土柱蒸发条件下水分含量变化过程。结果表明;电容式湿度传感器...
关键词：砂土水分蒸发 电容式湿度传感器 含水率 测值偏差机理 分段式表征 
电容式湿度传感器读出电路的设计被引量：2
《中国集成电路》2019年第5期34-38,93,共6页肖小霞 魏榕山 
福建省自然科学基金(2018J01803)
本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路,实现对湿度电容信号到数字信号的转换,即电容数字转换器(CDC)。该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换,同时采用Zoom-i n技术,减少参考电容的大小,扩展电容测量范围。本设计采用SMI...
关键词：电容式湿度传感器 电容数字转换器 SIGMA-DELTA调制 Zoom-in技术 
电容式铜掺杂氧化锌湿度传感器的特性
《微纳电子技术》2019年第5期368-375,共8页叶子 孙宁 刘伟景 
国家自然科学基金资助项目(11404207;61604002;11647023);上海自然科学基金资助项目(17ZR1411500)
通过水热法制备不同原子数分数铜(Cu)掺杂氧化锌(ZnO)纳米棒材料,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所制备样品的结构形貌及表面价态进行表征与测量。采用介电泳(DEP)操控技术将不同材料按照电场...
关键词：电容式湿度传感器 纳米棒 氧化锌(ZnO) 氧空位 FREUNDLICH模型 多层吸附理论 
全选清除导出
共6页<123456>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部