1.55μm Fabry-Perot Thermo-Optical Tunable Filter with Amorphous-Si as Cavity  

155μm非晶硅热光F-P腔可调谐滤波器(英文)

作　　者：左玉华[1] 蔡晓[1] 毛容伟[1] 黄昌俊[1] 成步文[1] 李传波[1] 罗丽萍[1] 高俊华[2] 白云霞[2] 姜磊[2] 马朝华[2] 王良臣[2] 余金中[1] 王启明[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京100083 [2]中国科学院半导体研究所光电子工艺中心,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第9期911-915,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家重点基础研究发展规划 (No .G2 0 0 0 0 36 6 0 3);国家自然科学基金 (批准号 :96 10 4 0 0 3);国家高技术研究发展计划 (No .2 0 0 2AA312 0 10 )资助项目~~

摘　　要：A 1.55μm Fabry-Perot (F-P) thermo-optical t unable filter is fabricated.The cavity is made of amorphous silicon (a-Si) layer grown by electron-beam evaporation technique.Due to the excellent thermo-optical property of a-Si,the refractive index of the F-P cavity will be changed by heating;the transmittance resonant peak will therefore shift substantially.The measured tuning rang is 12nm, FWHM (full-width-at-half-maximum) of the transmissi on peak is 9nm,and heating efficiency is 0.1K/mW.The large FWHM is mainly due to th e non-ideal coating deposition and mirror undulation.Possible improvements to increase the efficiency of heating are suggested.介绍了一种Si基热光Fabry Perot (F P)腔可调谐滤波器 .F P腔由电子束蒸发的非晶硅构成 .利用非晶硅的热光效应 ,通过对Si腔加热 ,改变F P腔的折射率 ,从而引起透射峰位的红移 .该原型器件调谐范围为 1 2nm ,透射峰的FWHM (峰值半高宽 )为 9nm ,加热效率约为 0 1K/mW .精确控制DBR(分布式Bragg反射镜 )生长获得高反射率镜面是减小带宽的有效途径 ;通过改进加热器所处位置及增强散热能力 。

关 键 词：thermo-optical effect FABRY-PEROT tunable filter A-SI 

分 类 号：TN713[电子电信—电路与系统]