用光刻工艺制作高密度基因芯片的研究  

Research of Fabricating High-density Genechip by Photolithography Technology

作　　者：贺训军[1] 王春生[2] 阎玉清 殷景华[1] 高昆[1] 星星 

机构地区：[1]哈尔滨理工大学应用科学学院,黑龙江哈尔滨150080 [2]哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江哈尔滨150001 [3]哈尔滨基太生物芯片开发有限责任公司,黑龙江哈尔滨150090

出　　处：《哈尔滨理工大学学报》2003年第4期113-115,共3页Journal of Harbin University of Science and Technology

基　　金：哈尔滨市科技攻关计划项目(2001AA3CS072)

摘　　要：利用集成电路中的光刻工艺,以玻璃为衬底,制作了高密度基因芯片,它能将数以万计 的寡核苷酸固定于固相支持物,且具有高通量、并行性、微型化及自动化等特点.Genechip is a hot new biotechnique developed rapidly in recent years. Genechip adopt photolithography technology of microelectronic technology in IC to fabricate high - desity genechip about glass substrate, it can bind thousands of oligonucleotide probe with surface of solid support. Genechip possesses the features of high - throughout, parallel, minimization and automation.

关 键 词：光刻工艺 密度 基因芯片 寡核苷酸 亚磷酰胺核苷 DNA微阵列 LINKER 版图设计 掩膜版 

分 类 号：Q78[生物学—分子生物学] TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]