无油分子泵机组的组装  

The assembling of a dry molecular pump unit

作　　者：李琦[1] 宋洪[1] 董海义[1] 

机构地区：[1]中国科学院高能物理研究所,北京100039

出　　处：《真空》2003年第5期58-60,共3页Vacuum

摘　　要：介绍了将 AL CATEL 公司生产的一台 ATP10 0涡轮分子泵、一台 MDP5 0 11牵引分子泵及一台 VRC公司生产的 1By6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷 ,较好地满足了使用要求 。The process of assembling a turbomolecular pump ATP100 and a molecular drag pump MDP5011 produced by ALCATEL and a dry vacuum pump 1By6 produced by VRC into a dry molecular pump unit is given. The calculation of the match between the pumps, the design of the blueprint, the connection of the pipe line, the design and the selection of the instrument bracket were presented. This scheme not only perfects the performances of the three pumps but also fulfils the need of the use.

关 键 词：无油分子泵机组 组装 设计 计算 真空系统 油污染 极限真空 涡轮分子泵 牵引分子泵 干泵 

分 类 号：TB752[一般工业技术—真空技术]