电磁微电机的设计与制造技术  

Design, Fabrication and Applications of Electromagnetic Micromotor

作　　者：高杨[1,2] 赵小林[3] 陈文元[3] 张琛[3] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所 [2]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030 [3]上海交通大学微纳米科学技术研究院

出　　处：《信息与电子工程》2003年第3期71-74,共4页information and electronic engineering

基　　金：国防科技基础研究基金资助项目(41305010301)

摘　　要：介绍了上海交通大学电磁微电机的研究、设计、制造技术及应用现状。Research and development achievements on electromagnetic micromotor by Shanghai Jiao Tong University are summarized in the paper, including its structural design, electrical control and microfabrication techniques.

关 键 词：电磁微电机 气隙磁通 定子 控制电路 MEMS 微细制造 

分 类 号：TM38[电气工程—电机]