半导体放电管和扩展电阻技术在放电管开发中的应用  

作　　者：吴晓虹[1] 朱丽娜[1] 闵靖[1] 

机构地区：[1]上海市计量测试技术研究院,200233

出　　处：《集成电路应用》2003年第10期41-44,共4页Application of IC

摘　　要：半导体放电管是新一代抗电浪涌保护器件。本文概略地叙述了放电管的结构、特性和主要的电参数。分析了这些电参数与硅片的物理参数以及扩散的结深和掺杂浓度分布的关系。同时介绍了扩展电阻探针在半导体放电管的开发、制管工艺的监控和失效分析中的应用。

关 键 词：半导体放电管 扩展电阻 浪涌保护器件 瞬变电压 电参数 电阻率 掺杂浓度分布 

分 类 号：TM862[电气工程—高电压与绝缘技术]