MPCVD金刚石膜的拉曼光谱学  被引量:6

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作  者:阎研[1] 屈田[1] 张树霖[1] 赵新生[2] 韩毅松 侯立 

机构地区:[1]北京大学物理学院,北京100871 [2]北京大学化学学院,北京100871 [3]北京中非人工晶体研究所,北京100018

出  处:《科学通报》2003年第19期2029-2030,共2页Chinese Science Bulletin

摘  要:研究了MPCVD生长的金刚石膜的拉曼光谱。除给出它们的全部一级谱外,还根据纳米结构特有的共振尺寸选择效应,认为MPCVD金刚石膜中不含有纳米晶成分,并认为1145 cm^(-1)峰不能作为生成纳米晶金刚石的判断标准,虽然这个标准已被人们广泛地应用了许多年。

关 键 词:金刚石膜 拉曼光谱学 MPCVD 共振尺寸选择效应 尺寸限制效应 纳米结构 微波等离子体化学气相相沉积法 

分 类 号:O433[机械工程—光学工程]

 

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