μTM技术在MEMS工艺中的应用  

Applications of μTM in MEMS

作　　者：陈默[1] 郑小林[1] 樊华[1] 李金[2] 

机构地区：[1]重庆大学微系统研究中心生物MEMS研究室,重庆400044 [2]生物力学及组织工程教育部重点实验室,重庆400044

出　　处：《微纳电子技术》2003年第11期30-33,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金：重庆市科技攻关基金项目资助

摘　　要：介绍了软光刻技术中的一项关键技术———微传递成模(μTM),阐述了其特点、不足及其基本的工艺流程。最后通过介绍其在加工Scottky二极管阵列和光波导耦合腔中的应用,说明μTM在微加工技术中具有广泛的应用前景。An important technology of soft lithography,namedμTM(microtransfer molding)is introduced.Its characters,disadvantages and processing technics are described.After that,through introducing fabrication of arrays of Schottky diodes and waveguide couplers usingμTM,we illustratedμTM application abroad in MEMS in the future.

关 键 词：μTM技术 MEMS 软光刻技术 微传递成模 微机电系统 Scottky二极管阵列 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]