基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究  

Experimental Research of the Long wavelength resonant cavity photodetectors with InP/air gap Bragg Mirrors

作　　者：王兴妍[1] 黄辉[1] 王琦[1] 周震[1] 崇英哲[1] 黄永清[1] 任晓敏[1] 

机构地区：[1]北京邮电大学光通信中心,北京100876

出　　处：《光通信技术》2003年第12期33-34,共2页Optical Communication Technology

基　　金：国家"863"项目(No:2002AA31229Z);国家自然科学基金重大研究计划项目(No:90104003);国家自然基金重点项目(No:90201035)资助

摘　　要：报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1:585μm处获得了约54.5％的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50×50mm2。

关 键 词：谐振腔光探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀 INP RCE DBR 分布布喇格反射镜 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统] TN247[电子电信—信息与通信工程]