选择性湿法刻蚀

作品数：6被引量：9H指数：2
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相关期刊：《北京大学学报（自然科学版）》《半导体光电》《光通信技术》《Journal of Semiconductors》更多>>
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选择性湿法刻蚀制备内嵌碳纳米管的沟槽结构
《北京大学学报（自然科学版）》2012年第3期354-358,共5页赵华波 张朝晖 
国家重点基础研究发展计划(2007CB936804);国家自然科学基金(90406007;10434010)资助
提出一种"自下而上"的纳米结构的制备方法。在生长有碳纳米管的氧化硅表面沉积数纳米的钯金属膜后,用氢氟酸刻蚀,得到完全由碳纳米管引导的沟槽结构,并且碳纳米管沿沟槽分布在其底部。通过导电原子力显微镜对沟槽内的碳纳米管的表征,发...
关键词：碳纳米管 钯 湿法刻蚀 沟槽 
HCl/HF/CrO_3溶液对InGaAs/InGaAsP的选择性湿法刻蚀——应用于楔形结构的制备
《Journal of Semiconductors》2005年第7期1469-1474,共6页黄辉 王兴妍 任晓敏 王琦 黄永清 高俊华 马晓宇 
国家自然科学基金重大项目(批准号:90201035);国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA312020);国家重点基础研究发展计划(批准号:2003CB314901)资助项目~~
利用动态掩膜湿法腐蚀技术,研究了HCl/HF/CrO3溶液对与InP衬底晶格匹配的InxGa1-xAs1-yPy(y=0,0.2,0.4,0.6)材料的腐蚀特性.对于HCl(36wt%)/HF(40wt%)/CrO3(10wt%)的体积比为x∶0.5∶1的溶液,随着x由0增加到1.25,相应的腐蚀液对In0.53Ga...
关键词：半导体器件 制造工艺 楔形结构 动态掩膜湿法腐蚀技术 刻蚀 选择性湿法 HCl/HF/CrO3溶液 INGAASP INGAAS 
基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器被引量：6
《Journal of Semiconductors》2004年第2期170-173,共4页黄辉 王兴妍 王琦 黄永清 任晓敏 高俊华 张胜利 刘宇 祝宁华 马骁宇 杨晓红 吴荣汉 
国家高技术研究发展计划 (编号 :2 0 0 2 AA3 12 2 9Z);国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 10 3 5 )资助项目~~
报道了一种长波长的 In P基谐振腔 (RCE)光电探测器 .采用选择性湿法刻蚀 ,制备出基于 In P/空气隙的分布布拉格反射镜 ,并将该结构的反射镜引入 RCE光电探测器 .制备的器件在波长 1.5 10 μm处获得了约 5 9%的峰值量子效率 ,以及 8GHz...
关键词：谐振腔增强型光电探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀 
基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究
《光通信技术》2003年第12期33-34,共2页王兴妍 黄辉 王琦 周震 崇英哲 黄永清 任晓敏 
国家"863"项目(No:2002AA31229Z);国家自然科学基金重大研究计划项目(No:90104003);国家自然基金重点项目(No:90201035)资助
报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1:585μm处获得了约54.5％的峰值量子效率,以及8GHz的3dB...
关键词：谐振腔光探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀 INP RCE DBR 分布布喇格反射镜 
高性能InP基谐振腔增强型长波长光探测器被引量：1
《半导体光电》2003年第4期230-232,237,共4页黄永清 黄辉 王琦 王兴妍 周震 任晓敏 
国家"863"计划资助项目(2001AA312290);国家自然科学基金重大研究计划资助项目 (90 1 0 40 0 3 )
　介绍了目前实现高性能InP基谐振腔型(RCE)长波长光探测器的几种方案。采用InP 空气隙DBR结构、正入射光、响应波长为1550nm的高灵敏度、高速InP基长波长RCE光探测器,在1510nm波长处获得了59%的量子效率,在器件台面面积仍很大的情况下...
关键词：谐振腔增强型 光探测器 空气隙 选择性湿法刻蚀 
HF/CrO_3溶液对AlGaAs的选择性湿法刻蚀应用于楔型结构的制备被引量：2
《Journal of Semiconductors》2002年第2期208-212,共5页黄辉 黄永清 任晓敏 高俊华 罗丽萍 马骁宇 
国家杰出青年基金(批准号 :6962 5 10 1);国家自然基金(批准号 :699760 0 7)资助项目~~
利用动态掩膜腐蚀技术 ,研究了 HF/ Cr O3腐蚀液对各种不同组分的 Alx Ga1 - x As(x =0 .3,0 .5 ,0 .6 5 )的腐蚀速率及腐蚀表面形貌 .随着 HF(48wt% ) / Cr O3(33wt% )的体积比由 0 .0 1变化到 0 .138,相应的腐蚀液对 Al0 .8-Ga0 .2 As...
关键词：制备 楔形结构 铝镓砷化物合 选择性湿法刻蚀 HF-CrO3溶液 
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