基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器  

Long Wavelength Resonant Cavity Photodetectors with InP/Air-Gap Bragg Mirrors

作　　者：黄辉[1] 王兴妍[1] 王琦[1] 黄永清[1] 任晓敏[1] 高俊华[2] 张胜利[2] 刘宇[2] 祝宁华[2] 马骁宇[2] 杨晓红[2] 吴荣汉[2] 

机构地区：[1]北京邮电大学光通信中心,北京100876 [2]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2004年第2期170-173,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家高技术研究发展计划 (编号 :2 0 0 2 AA3 12 2 9Z);国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 10 3 5 )资助项目~~

摘　　要：报道了一种长波长的 In P基谐振腔 (RCE)光电探测器 .采用选择性湿法刻蚀 ,制备出基于 In P/空气隙的分布布拉格反射镜 ,并将该结构的反射镜引入 RCE光电探测器 .制备的器件在波长 1.5 10 μm处获得了约 5 9%的峰值量子效率 ,以及 8GHz的 3d B响应带宽 ,其中器件的台面面积为 5 0 μm× 5 0 μm.An InP based resonant cavity enhanced (RCE) photodetector is demonstrated.InP/air-gap distributed Bragg reflector (DBR) with high reflectivity is fabricated by using selective wet etching.Moreover,long wavelength RCE photodetectors with InP/air-gap DBR is realized for the first time.The quantum efficiency of 59% at 1.510μm and 3dB bandwidth at 8GHz are achieved with devices active area of 50μm×50μm.

关 键 词：谐振腔增强型光电探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统]