红外微辐射元的研制  

DEVELOPMENT OF IR MICROEMITTER

作　　者：李守荣[1] 梁平治[1] 屈新萍[2] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所,上海200083 [2]复旦大学微电子系,上海200433

出　　处：《红外与毫米波学报》2003年第4期277-280,共4页Journal of Infrared and Millimeter Waves

摘　　要：利用表面微机械加工技术 ,研制出微桥结构红外微辐射元 .该辐射元是电阻阵列动态红外景象产生器的基本组成单元 .辐射元可以产生等效黑体辐射温度为 30 0～ 5 0 0K的红外辐射 ,能够满足中波、长波红外半实物仿真的需求 .IR microemitter with microbridge structure has been developed based on surface MEMS( Microelectromechanical Systems) technology. The microemitter is the key cell of resistor array dynamic IR scene generator. The microemitter generated IR radiation which the effective blackbody temperature is between 300K and 500K. It can meet the requirement of simulating MWIR(Medium Wave IR) and LWIR(Long Wave IR) radiation in hardware-in-the-loop simulation system.

关 键 词：红外微辐射元 电阻阵列 动态红外景象产生器 等效黑体辐射温度 红外辐射 表面机械加工技术 

分 类 号：TN212[电子电信—物理电子学]