微小机电强链中的驱动器  

Driver applied in micro or small electromechanical stronglink

作　　者：张卫平[1] 陈文元[1] 赵小林[1] 高扬[1] 吴校生[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心,上海200030

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期586-589,共4页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器 ,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管 ,详细阐述了其工作原理、机构特点 ,并对其优缺点进行了分析 ,同时提出一些改进方案和设计 。Some kinds of actuators used as micro or small electromechanical stronglink drivers are intrduced, including electrostatic, electromagnetic, piezoelectric micromotor and solenoid. The principle, characteristic, advantage and disadvantage of these actuators are analyzed. At the same time, some improved schemes and designs are proposed as references for other micro or small electromechanical stronglink drivers.

关 键 词：微小机电强链 驱动器 工作原理 微执行器 设计 MEMS 

分 类 号：TP211.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]