加工应力对双线振动式陀螺仪谐振频率的影响  

Effect of process stress on resonance frequency of the double linear vibratory gyroscope

作　　者：谢明媚[1] 裘安萍[1] 王寿荣[1] 

机构地区：[1]东南大学仪器科学与工程系,江苏南京210096

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期314-316,共3页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：分析了双线振动式陀螺仪在驱动模态和检测模态的振动方程及刚度 ,提出用方波梁代替直梁以减小加工应力对陀螺仪谐振频率的影响。并用ANSYS分析软件对驱动谐振频率进行仿真 。The vibratory equation and stiffness of the double linear vibratory gyroscope was analyze. In order to reduce the affect caused by process stress, we proposed a crook beam to replace the straight beam. And the new structure has been confirmed effective by the simulative result of ANSYS.

关 键 词：加工应力 双线振动式陀螺仪 谐振频率 硅微机械陀螺仪 微惯性导航 

分 类 号：V241.5[航空宇航科学与技术—飞行器设计] U666.12[交通运输工程—船舶及航道工程]