谢明媚

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发文主题：方波谐振频率残余应力分析残余应力硅微机械陀螺仪更多>>
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加工应力对双线振动式陀螺仪谐振频率的影响
《微纳电子技术》2003年第7期314-316,共3页谢明媚 裘安萍 王寿荣 
分析了双线振动式陀螺仪在驱动模态和检测模态的振动方程及刚度 ,提出用方波梁代替直梁以减小加工应力对陀螺仪谐振频率的影响。并用ANSYS分析软件对驱动谐振频率进行仿真 。
关键词：加工应力 双线振动式陀螺仪 谐振频率 硅微机械陀螺仪 微惯性导航 
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