真空微电子压力传感器阵列数据采集研究  

Study on data acquisition of vacuum micro electronic pressure sensor array

作　　者：潘银松[1] 温志渝[1] 梁玉前[1] 蒋子平[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电技术系统实验室,重庆400044

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期435-437,共3页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家高技术研究发展计划 (863计划 )(2 0 0 2AA43 10 80 )资助项目;国家教育部(0 2 16)资助项目

摘　　要：阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的 12位A/D数据采集系统。系统采用微机为主控单元 ,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件 (CPLD)实现 ,提高了设计的灵活性 ,简化了电路板设计。利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集 。The working principle and working wave shape of the vacuum micro electronic pressure sensor is described. A 12 bit A/D data acquisition system is designed for such pressure sensor. In the system, PC is adopted as the main control unit and CPLD is employed to realize the address generation and time sequential control. This promotes the design feasibility and simplifies the circuit board design. This system is used to obtain the data from the micro electronic pressure sensor. The experiment result is given.

关 键 词：真空微电子 压力传感器阵列 数据采集 MEMS 工作原理 可编程逻辑器件 电路板设计 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]