MEMS冷气推进器的制作及实验研究  

Fabrication and experiment of a MEMS based cold gas thruster

作　　者：唐飞[1] 叶雄英[1] 周兆英[1] 

机构地区：[1]清华大学精仪系,北京100084

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期441-444,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金："973"项目"集成微光机电系统"(G19990 3 3 10 6)资助项目

摘　　要：介绍了一种两层结构的MEMS冷气微推进器的设计和制作。并从不同的膨胀比和喉部尺寸的角度 ,对微推进器的推力和比冲性能进行了实验测量。实验结果表明 ,所制作的微推进器可以达到的最大推力在 3.3～ 4 .9mN之间 ,比冲在 5 1.0～ 6 6 .A double wafer microthruster based on MEMS is designed and fabricated. Tests on the micronozzle performance under the conditions of different expansion ratios and throat dimensions are made. The results show that the maximum thrust is 3.3～4.9mN and the specific impulse is 51.0～66.3s.

关 键 词：MEMS 冷气推进器 结构设计 膨胀比 比冲性能 测试 卫星 姿态控制 

分 类 号：V43[航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程] V448.22