多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用  

作　　者：王晓红[1] 谢克文[1] 周俊[1] 刘理天[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所，北京100084

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第B05期198-201,共4页半导体学报（英文版）

摘　　要：多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究，提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺。

关 键 词：微型质子交换膜燃料电池 多孔硅 MEMS 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学] TM911.48[电气工程—电力电子与电力传动]