谢克文

作品数：6被引量：17H指数：3
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：直接甲醇燃料电池多孔硅MEMS计算流体力学微机电系统更多>>
发文领域：电气工程电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊：《中国机械工程》《微细加工技术》《固体电子学研究与进展》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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硅基微型直接甲醇燃料电池的研究被引量：5
《Journal of Semiconductors》2005年第7期1437-1441,共5页王晓红 谢克文 姜英琪 钟凌燕 刘理天 
国家自然科学基金资助项目(批准号:90207023)~~
设计了一种基于MEMS技术的硅基微型直接甲醇燃料电池(DMFC),采用流体力学软件进行了DMFC三维阳极模型的模拟,利用MEMS加工技术和PDMS封装工艺实现了这种燃料电池,并在室温下对有效面积为8600μm×8600μm的电池样品进行了性能测试.测试...
关键词：硅基微型燃料电池 直接甲醇燃料电池 PDMS MEMS 
基于CFD的DMFC阳极三维模型的建立被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期214-217,共4页钟凌燕 王晓红 谢克文 姜英琪 
国家自然科学基金资助重大项目(90207023)
提出基于计算流体力学方法的直接甲醇燃料电池阳极的三维模型,并模拟了液体燃料供给的平行沟道流场结构直接甲醇燃料电池的性能.该模型考虑直接甲醇燃料电池阳极燃料的质量传输,特别是多孔介质对于燃料输运的影响,根据燃料质量传输性质...
关键词：直接甲醇燃料电池(DMFC) 计算流体力学(CFD) 多孔介质 模型 
基于MEMS技术的微型燃料电池的制作被引量：3
《微细加工技术》2004年第3期55-58,共4页谢克文 王晓红 姜英琪 刘理天 
提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的硅基微型直接甲醇燃料电池的制作工艺流程。该微型燃料电池采用KOH体硅腐蚀技术得到流体通道,并溅射金属Pt层作为收集电流的电极。采用PDMS将两块带有微通道的燃料电池硅片与涂有催化剂层的质...
关键词：直接甲醇燃料电池 微机电系统(MEMS) 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 
基于微机械的多孔硅牺牲层技术被引量：4
《固体电子学研究与进展》2004年第1期73-76,116,共5页周俊 谢克文 王晓红 刘理天 
国家 973基础研究项目 (G19990 3 3 10 5 )
多孔硅作为一种牺牲层材料 ,在表面硅微机械加工技术中有着重要的应用。文中综合讨论了三种不同的多孔硅牺牲层技术 ,并用后两种“在低掺杂衬底上的多孔硅牺牲层技术”,制作了良好的悬空微薄膜结构 ,同时对多孔硅表面的薄膜淀积 ,和制...
关键词：多孔硅 牺牲层 微机电系统 薄膜淀积 掩膜材料 
多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期198-201,共4页王晓红 谢克文 周俊 刘理天 
多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究，提出一套基于MEMS加工技术和薄膜...
关键词：微型质子交换膜燃料电池 多孔硅 MEMS 
用于MEMS的选择性形成多孔硅技术的研究被引量：4
《Journal of Semiconductors》2002年第6期668-672,共5页谢克文 王晓红 陈兢 刘理天 
提出了一套采用扩散工艺在低掺杂的硅衬底上选择性形成多孔硅牺牲层 ,并制作了 MEMS器件结构的工艺流程 ,进行了工艺流水 .对得到的结果进行了详细的讨论 .对于
关键词：MEMS 多孔硅 扩散 牺牲层 掺杂 硅衬底 
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