微机电系统中微执行器驱动方式的研究进展  

作　　者：倪昀[1] 

机构地区：[1]金华职业技术学院机电学院

出　　处：《智富时代》2015年第6X期215-215,共1页Fortune Time

摘　　要：微执行器是微机电系统(Micro Electromechanical System,MEMS)的关键技术,驱动方式对微执行器制动效果影响最大。本文比较不同微执行器的驱动方式(静电驱动、压电驱动、电磁驱动、形状记忆合金驱动、电热驱动)的机理,对微执行器驱动方式的发展进行展望。

关 键 词：驱动方式 微执行器 微机电系统 

分 类 号：TH-39[机械工程]