离子注入表面改性  

出　　处：《制造技术与机床》2015年第3期150-,共1页Manufacturing Technology & Machine Tool

摘　　要：离子注入属于物理气相沉积范围,是将所需物质的离子在电场中加速后高速轰击工件表面,并使之注入工件表面一定深度的真空处理工艺。离子注入将引起材料表层成分和结构发生变化,以及原子环境和电子组态等微观状态的扰动,因而导致了材料的各种物理、化学和力学性能的变化。离子注入表面改性特征如下:1)

关 键 词：表面改性 离子注入 微观状态 工件表面 电子组态 真空处理 物理气相沉积 力学性能 复合层 软化现象 

分 类 号：TG178[金属学及工艺—金属表面处理]