用于自适应光学系统的几种新型可变形反射镜  

Some novel deformable mirrors used in adaptive optics

作　　者：余洪斌[1] 陈海清[1] 竺子民[1] 李俊[1] 王忠[1] 

机构地区：[1]华中科技大学光电子工程系,湖北武汉430074

出　　处：《半导体技术》2004年第5期64-67,共4页Semiconductor Technology

摘　　要：将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义。本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础。MEMS technology used in the adaptive optics will bring an important influence.Based on this purpose some novel deformable mirrors were discussed in the theory and fabricationprocess.

关 键 词：硅微加工 自适应光学 可变形反射镜 MEMS技术 制作工艺 薄膜DMs 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学]