余洪斌

作品数：21被引量：61H指数：4
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：超声换能器光声自适应光学转换层静电驱动更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术机械工程理学更多>>
发文期刊：《半导体技术》《光电子．激光》《激光与光电子学进展》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家自然科学基金湖南省教育厅科研基金中央高校基本科研业务费专项资金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究被引量：3
《激光与光电子学进展》2018年第8期413-420,共8页邵健 李琦 余洪斌 
中央高校基本科研业务费专项资金(2016JCTD112);深圳市基础研究计划(JCYJ20160414102014801)
设计了一种基于氮化铝(AlN)材料的压电连续面型变形镜,采用理论分析和COMSOL仿真对该AlN MEMS变形镜的结构进行了优化,拟合了前14项Zernike多项式,对其驱动性能特别是像差矫正能力进行了系统研究。研究结果表明,该变形镜表现出与COMSOL...
关键词：光学设计 自适应光学 变形镜 氮化铝(AlN) 驱动性能 ZERNIKE多项式 微电子机械系统(MEMS) 
一种新型分离式微变形镜的特性分析
《湖南理工学院学报（自然科学版）》2008年第3期48-51,55,共5页刘喜斌 余洪斌 李俊 陈海清 
湖南省教育厅科研资助项目(05C602)
针对一种结构新颖的分离式微变形镜的动、静态特性进行了分析.从能量角度入手对微镜支撑结构在其不同运动状态下所表现出的等效弹性系数进行了推导.以Z轴方向的平动为例对微镜的静态变形-电压关系、谐振频率及瞬态响应进行了详细讨论....
关键词：微光机电系统 微镜 变形能 等效弹性系数 谐振频率 瞬态响应 
基于MEMS技术的自适应光学系统的研究被引量：1
《光电工程》2007年第2期1-4,共4页杨振刚 陈海清 李俊 余洪斌 
总装"十.五"基础研究基金项目资助课题
用自适应光学系统来校正由大气湍流等产生的波前畸变,能够得到很好的效果。通过对自适应光学系统的工作原理进行研究,提出了一种基于MEMS技术的微小型自适应光学系统校正波前畸变的方法,将MEMS技术应用于变形反射镜,并构建了具体的实验...
关键词：自适应光学系统 MEMS技术 波前探测器 变形反射镜 波前校正 
基于MMDM的微小型自适应光学系统实验研究被引量：3
《华中科技大学学报（自然科学版）》2006年第9期60-62,共3页陈劲 陈海清 李俊 余洪斌 
十五预研项目
建立了由微机械薄膜变形镜(MMDM)构成的微小型自适应光学系统,该系统具有低成本、低能耗、体积小的特点.在实验中验证了MMDM单个电极控制电压与其变形量的近似平方关系以及各电极产生形变的近似线性叠加关系.用叠代算法来控制MMDM,对系...
关键词：微机械薄膜变形镜 像差校正 星载光学系统 
一种新的Mems变形反射镜主要性能参数测试被引量：1
《湖南理工学院学报（自然科学版）》2006年第2期41-44,共4页刘喜斌 余洪斌 方迪 
湖南省教育厅科研资助项目(05C602)
通过对37单元Mems变形镜面形的测量得到了变形镜的电压-位移静态曲线。通过对自适应光学微变形反射镜理论研究推导和实验测试,导出了变形反射镜光学影响函数的矩阵并由此得到电压控制矩阵,从而利用控制电压校正了变形镜的初始面形,为系...
关键词：Mems变形反射镜 静态响应曲线 影响函数 
自适应光学系统光学部分的计算机模拟被引量：4
《光电子．激光》2006年第6期669-672,共4页李俊 陈海清 任温馨 余洪斌 
国家自然科学基金资助项目(10476010)
利用相位屏(PS)方法通过软件模拟大气湍流,进而研究了自适应光学(AO)系统中哈特曼-夏克(H-S)波前传感器的计算机模拟技术。使用基于Zernike多项式的模式法重构波前,验证了模拟方法的可行性,完成了AO系统光学部分的计算机模拟。
关键词：自适应光学(AO) 大气湍流 相位屏(PS) 哈特曼夏克(H-S)传感器 仿真模拟 ZERNIKE多项式 
用于激光二极管抽运固体激光器热畸变补偿的微变形镜特性研究被引量：5
《光学学报》2006年第8期1198-1202,共5页李捷 陈海清 余洪斌 
国家自然科学基金(10476010)资助课题
在很多高功率的激光器中,由于热效应的缘故会导致激光器的光束质量大幅下降。为了改善激光光束的动态畸变,自适应光学是一种有效的方法。作为自适应光学系统的核心部件,设计了一种可用于大功率激光二极管抽运固体激光器(DPL)热畸变补偿...
关键词：自适应光学 热畸变补偿 微变形镜 激光二极管抽运固体激光器 
磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真被引量：3
《华中科技大学学报（自然科学版）》2006年第4期18-20,共3页余洪斌 陈海清 刘彦 李俊 
总装备部十五预研资助项目.
对比静电驱动与磁驱动,发现只有当驱动器的间距小于1.75μm时,静电能密度才处于优势地位,而大于此间距后,磁驱动将表现出主导地位.在此基础上,为了设计出具有较大运动范围的光开关,提出了一种新的基于MEMS技术的磁驱动形式,采用溅射、...
关键词：光开关 静电驱动 磁驱动 永磁材料 软磁材料 
分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析
《强激光与粒子束》2006年第1期15-20,共6页刘彦 陈海清 余洪斌 吴鹏 向晓燕 杨国元 
国家自然科学基金委-中国工程物理研究院联合基金资助课题
针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜，从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析，导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式，定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系，为变形镜的结构设计提供了可靠的...
关键词：微变形反射镜 力电耦合 自适应光学 静电驱动 镜面变形 
星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究被引量：1
《压电与声光》2005年第4期352-355,共4页余洪斌 陈海清 竺子民 张大成 李婷 
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形...
关键词：可变形反射镜 体微加工 静电驱动 阳极键合 
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