单片集成于SOI上的光电探测器  

作　　者：董金珠[1] 江美玲[1] 梁平治[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所

出　　处：《红外》2004年第6期6-14,共9页Infrared

摘　　要：介绍了SOI基片的制作,和在SOI上集成光电二极管和电路得到光电探测器的几种方法,以及目前在SOI上做出来的各种光电二极管的结构与特性。

关 键 词：SOI基片 光电探测器 光电二极管 单片集成 

分 类 号：TN753[电子电信—电路与系统]