国家自然科学基金(50775207)

作品数：13被引量：44H指数：3
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相关作者：李伟李伟黄洁胡晓冬李伟更多>>
相关机构：浙江工业大学教育部浙江海洋学院浙江省计量科学研究院更多>>
相关期刊：《机械科学与技术》《新技术新工艺》《超硬材料工程》《International Journal of Plant Engineering and Management》更多>>
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相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>
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线锯切割技术的应用与发展被引量：25
《超硬材料工程》2008年第1期45-48,共4页张波 刘文涛 胡晓冬 李伟 
国家自然科学基金(50775207);浙江工业大学机械电子重中之重学科开放基金
随着电子工业的飞速发展,晶片的应用越来越广泛,晶片加工技术也越来越受到重视,其中晶片切割是制约后续工序中成品率高低的重要工序。文章概述了半导体材料切割技术现状,介绍了线锯切割的技术原理及其切割机理,并提出了线锯切割技术的...
关键词：线锯 超硬材料 游离磨料 固着磨料 切损 
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