国家自然科学基金(51101101)

作品数：4被引量：11H指数：2
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相关期刊：《中国有色金属学报》《功能材料》《无机材料学报》《材料导报》更多>>
相关主题：力学性能纳米复合膜微观结构CRNSI含量更多>>
相关领域：金属学及工艺电气工程更多>>
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射频磁控溅射法制备TiSiCN纳米复合膜的微观结构和力学性能研究被引量：2
《功能材料》2015年第7期7113-7117,共5页薛增辉 李伟 卢建富 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 
国家自然科学基金资助项目(51101101);上海市自然科学基金资助项目(11ZR1424600);上海市研究生创新基金资助项目(JWCXSL1302)
采用射频磁控溅射工艺在Si基底上制备TiSiCN纳米复合膜,固定靶材中的Ti含量,通过改变Si和C的含量比沉积得到一系列薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线光电子能谱(XPS)和纳米压痕仪研究了不同Si/C含量比对Ti...
关键词：TiSiCN 纳米复合膜 微观结构 力学性能 共格外延生长 
不同厚度二维VN插入层对TiSiN纳米复合膜微观结构和力学性能的影响被引量：3
《无机材料学报》2014年第10期1082-1086,共5页薛增辉 李伟 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 
国家自然科学基金(51101101);上海市自然科学基金(11ZR1424600);上海市研究生创新基金(JWCXSL1302)~~
采用TiSi复合靶与V靶,用射频磁控溅射工艺在TiSiN纳米复合膜中插入不同厚度的VN纳米层,采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究了VN插入层厚度对TiSiN纳米复合膜的微观结构和力学性能的影响。结果表明:当Ti...
关键词：TiSiN纳米复合膜 VN插入层 微观结构 力学性能 
Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响被引量：5
《中国有色金属学报》2014年第3期739-744,共6页王建鹏 李伟 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 
国家自然科学基金资助项目(51101101);上海市自然科学基金资助项目(11ZR1424600);上海市教委重点学科项目(J50503)
采用不同Si含量的TiSi复合靶和Cr靶,用射频磁控溅射工艺在Si基底片上沉积不同Si含量的CrN/TiSiN纳米多层膜。采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响...
关键词：CRN TiSiN纳米多层膜 SI含量 显微结构 力学性能 外延生长 
CIGS薄膜太阳能电池吸收层的非真空制备工艺研究进展被引量：1
《材料导报》2012年第9期134-137,147,共5页李伟 刘平 王卫兵 马凤仓 刘新宽 陈勤妙 韩朝霞 
国家自然科学基金(51101101);上海市教委"晨光计划"(09CG51);上海市教委重点学科项目(J50503)
综述了CIGS薄膜非真空制备工艺的研究现状,主要包括电化学沉积法、纳米颗粒沉积法、化学反应法和其他方法,指出了其主要问题和发展方向。非真空制备工艺制备CIGS薄膜一般包括两个步骤:第一,利用各种非真空工艺制备出预制层薄膜;第二,对...
关键词：CIGS 太阳能电池 吸收层 非真空工艺 
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