云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 美国国家自然科学基金(NSF-0403673)

美国国家自然科学基金(NSF-0403673): 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 相关期刊：《电子显微学报》更多>>; 相关主题：纳米线结构纳米线电压衬度扫描电子显微镜更多>>; 相关领域：一般工业技术更多>>

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运用精确电压衬度像技术实现精确定位的原位电子束纳米刻蚀：制造具有悬挂纳米线结构的纳米器件: 《电子显微学报》2010年第3期213-218,共6页周维列 LIM Jin-Hee WILEY John B; 美国国家自然科学基金会(No.NSF-0403673);美国国防部高级研究计划局(No.HR0011-07-1-0032);路易斯安那州基金管理会[LEQSF(2007-12)-ENH-PKSFI-PRS-04 and LEQSF(2008-11)-RD-B-10]的资助; 本文演示了运用精确电压衬度像技术实现原位电子束纳米刻蚀技术的精确定位,并运用该技术制作成具有悬挂结构的纳米开关。通过运用精确电压衬度像定位技术,能够很好地控制偏转电极的定位,误差可减少到大约10nm。通过该技术,不用通过任何...; 关键词：原位电子束纳米刻蚀扫描电子显微镜纳米器件纳米线