北京市科技新星计划(H020820990120)

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100型MEVVA源注入机注入均匀性研究
《真空》2007年第1期29-31,共3页李强 吴先映 张荟星 刘安东 彭建华 王桂岳 
国家"八六三"计划项目(AA338020);北京市科技新星A(H020820990120)
提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。为此开展了100型MEVVA源注入机大批量的工件注入均匀性的研究。本文介绍了100型MEVVA源注入机的靶室...
关键词：金属蒸汽真空弧 离子注入 0°定位 45°定位 注入均匀性 
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