中国航空科学基金(00G53066)

作品数：1被引量：4H指数：1
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一种新的β二酮铱MOCVD前驱体的制备及成膜性能被引量：4
《稀有金属材料与工程》2006年第7期1129-1131,共3页阎鑫 张秋禹 范晓东 
航空基础科学基金资助(00G53066)
从铱盐和配体2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮(thd)出发合成了一种新的β二酮前驱体Ir(thd)3,通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱等手段对合成的前驱体进行了结构表征。热重分析表明,当温度升到290℃,前驱体基本挥发完全。使用合成的前驱...
关键词：前驱体 铱薄膜 MOCVD 
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