国家自然科学基金(60806016)

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硅基混合集成技术的研究进展被引量：2
《物理》2011年第1期28-32,共5页李显尧 袁韬努 邵士茜 施祖军 汪毅 俞育德 余金中 
国家自然科学基金(批准号:60806016)资助项目
硅基光电子集成技术(PICs)为高速宽带光互连和光通信的发展提供了一种低成本的有效方案,受到人们的高度重视.目前将III-V族和锗等半导体化合物集成到硅衬底的方法主要分为两类:异质结外延生长和异质材料的键合.低温下晶片键合的方法克...
关键词：半导体物理学 硅基键合技术 综述 混合集成 
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