北京市教委科技创新平台项目(PXM201201420400000169)

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TSV结构热机械可靠性研究综述被引量:23
《半导体技术》2012年第11期825-831,共7页秦飞 王珺 万里兮 于大全 曹立强 朱文辉 
国家自然科学基金项目(11272018);中国TSV技术攻关联合体第1期课题;北京市教委科技创新平台项目(PXM2012_014204_00_000169)
硅通孔(TSV)结构是三维电路集成和器件封装的关键结构单元。TSV结构是由电镀铜填充的Cu-Si复合结构,该结构具有Cu/Ta/SiO2/Si多层界面,而且界面具有一定工艺粗糙度。TSV结构中,由于Cu和Si的热膨胀系数相差6倍,致使TSV器件热应力水平较高...
关键词:硅通孔 可靠性 热失配 应力 界面完整性 
LQFP和eLQFP热机械可靠性的有限元分析
《半导体技术》2012年第7期552-557,共6页夏国峰 秦飞 朱文辉 马晓波 高察 
国家科技重大专项(2011ZX02606-005);北京市教委科技创新平台项目(PXM2012_014204_00_000169)
封装形式的差异性对产品可靠性具有重要影响。基于有限元法,对比分析了薄型四方扁平封装(LQFP)和载体外露薄型四方扁平封装(eLQFP)在室温和回流焊温度下的翘曲、芯片和粘片胶的应力水平以及各材料界面应力分布。研究表明,LQFP的翘曲比eL...
关键词:薄型四方扁平封装 载体外露薄型四方扁平封装 有限元法 封装可靠性 界面分层 
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