国家科技重大专项(2009-10)

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面向半导体设备的Interface A通信方法研究被引量：1
《机械设计与制造》2012年第5期273-275,共3页叶家发 刘明哲 
国家科技重大专项项目(2009-10)
针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采...
关键词：半导体设备 INTERFACE A 数据采集 工厂自动化 
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