国家自然科学基金(5067113)

作品数：1被引量：3H指数：1
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一种测量纳米薄膜厚度的新方法被引量：3
《重庆大学学报（自然科学版）》2007年第6期35-38,共4页喻江涛 李明伟 王晓丁 程旻 
国家自然科学基金资助项目(5067113);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-05-0761)
提出了一种量测纳米薄膜厚度的方法,即根据纳米薄膜与其基底间存在的力学性质上的差异,选用合适的刻划工具,通过对薄膜直接进行刻划,产生划透薄膜且不影响基底的划痕,再运用原子力显微镜扫描,得到划痕区域的微观形貌,由此计算出纳米薄...
关键词：纳米薄膜厚度 原子力显微镜 划痕处理 测量 
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