上海市科学技术委员会资助项目(11DZ2290203)

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闭锁电热微开关的制备及性能测试
《功能材料与器件学报》2012年第5期345-349,共5页张颖 汪红 毛胜平 戴旭涵 丁桂甫 
上海市科委项目(11DZ2290203);国家自然基金(50977056)
本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采用MEMS表面微加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试。结果表明,施加的脉冲电信号的最...
关键词：电热驱动 机械锁定 MEMS微加工工艺 时序双脉冲电信号 
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