国家自然科学基金(11103018)

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一种高分辨率的光纤定位单元定位精度的测量装置
《机电一体化》2012年第9期54-57,70,共5页徐建雷 顾永刚 翟超 
国家自然科学基金项目(编号:11103018)
目前对光纤定位单元定位精度的检测所使用的测量手段是摄影测量,由于被测光纤的孔径非常小,使得这种测量方法的分辨率不高。该文提出了一种新的测量方法,检测装置由显微镜、CCD相机、二维精密移动平台组成。被测光纤通过显微镜放大成像...
关键词：光纤定位 CCD 移动平台 光学显微镜 定位精度 
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