上海市科学技术委员会资助项目(1052nm06800)

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碳纳米管场效应型DMMP气敏传感器研究
《微纳电子技术》2012年第1期45-49,共5页陈海燕 陈长鑫 戴振清 杨志 魏良明 徐东 张亚非 
国家自然科学基金项目(60807008);上海市科学技术委员会资助项目(1052nm06800);上海市青年科技启明星计划项目(10QA1403500)
基于单壁碳纳米管(SWCNT)的场效应气体传感器由于具有传感性能好、体积小、室温操作和加偏压自我解吸附等优良性能,有着广泛的应用前景。利用单壁碳纳米管自组装技术在SiO2/Si基底上制备均匀分布的SWCNT薄膜,将其作为沟道制作了具有灵...
关键词:碳纳米管 场效应器件 气体传感器 解吸附 SIO2/SI 
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