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光波导显微技术测量微小厚度变化
《光电工程》2007年第2期32-36,共5页杜嘉斌 刘选斌 沈启舜 朱鹏飞 曹庄琪 
国家自然科学基金资助项目(60408010)
在表面等离子波显微技术(SPM)的基础上,提出了一种新的反射型波导显微理论,并且进行了实验研究。这种显微技术采用棱镜波导耦合结构,在棱镜下底面依次镀有金属膜-波导层-样品层。利用导模共振吸收峰对样品层厚度敏感的特性,通过反射光...
关键词：导波光学 衰减全反射 显微术 金属薄膜 
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