上海市科委科技攻关项目(10111101100)

作品数：2被引量：3H指数：2
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晶圆微芯片检查提取设备的设计与实现被引量：2
《机械制造》2012年第9期5-8,共4页郭俭 林海涛 毕秋吉 
上海市科技攻关项目(编号:10111101100)
介绍了晶圆微芯片检查提取设备的工艺流程和技术要求,设计了各部分结构,特别对芯片提取翻转放置机构进行了详细说明。介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线在该设备中的应用,该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接...
关键词：晶圆微芯片 检查提取 E-SX总线 PLC 
富士控制系统在半导体设备中的应用被引量：2
《工业控制计算机》2012年第8期50-51,共2页林海涛 钟亮 
上海市科技攻关项目(10111101100)
以半导体封装设备中的芯片自动分选机为实例,介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线的应用。该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接,配线简单、维护方便、高速可靠。
关键词：富士电机 E-SX总线 PLC 芯片分选 
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