国家自然科学基金(61176042)

作品数:2被引量:5H指数:1
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脉冲激光沉积法制备的ZnO薄膜的低阈值电抽运紫外随机激射被引量:4
《物理学报》2013年第8期187-192,共6页徐韵 李云鹏 金璐 马向阳 杨德仁 
国家自然科学基金(批准号:61176042);国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB632102);浙江省自然科学基金(批准号:R4090055);浙江省创新团队项目(批准号:2009R50005)资助的课题~~
分别采用直流反应溅射法和脉冲激光沉积法在硅衬底上沉积ZnO薄膜,用X射线衍射、扫描电镜、光致发光谱等手段对两种方法沉积的ZnO薄膜的结晶状态、表面形貌和光致发光等进行了表征.进一步对比研究了以上述两种方法制备的ZnO薄膜作为发光...
关键词:随机激射 ZNO薄膜 脉冲激光沉积 溅射 
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